新能源清潔車(chē)間

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：13305346159一、詳細(xì)介紹

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461591.光伏新能源硅晶片簡(jiǎn)介

光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一個(gè)像鏡子一樣明亮的圓片，是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)已進(jìn)入0.18微米以下的時(shí)代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對(duì)光伏新能源硅晶片性能參數(shù)的要求。因此，光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂(lè)觀。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461591.1 光伏新能源硅晶片的生產(chǎn)工藝

從大的方面來(lái)講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒切割檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢測(cè)-蝕刻(化學(xué)蝕刻)LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋-洗滌-質(zhì)量檢驗(yàn)-清潔包裝 從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削到硅單晶棒生產(chǎn)工藝，切片后的工藝為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝。以硅片廠為例，介紹了空調(diào)凈化系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461591.2 各生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求

硅片廠生產(chǎn)4~6寸光伏新能源硅晶片，產(chǎn)量480萬(wàn)片/年。本公司光伏新能源硅晶片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461592.空調(diào)凈化系統(tǒng)

空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)與工藝布局和生產(chǎn)工藝緊密結(jié)合。不同類型和用途的工廠空調(diào)凈化系統(tǒng)各有特點(diǎn)。以下是光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工藝的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461592.1 空調(diào)系統(tǒng)

1 切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求，有風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)(PAC)為了保證房間的溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車(chē)間內(nèi)，連接風(fēng)管，采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式；室外機(jī)放在屋頂上。切割室排氣量大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵屋頂空調(diào)S1-1和S1-2補(bǔ)充。車(chē)間有防塵要求，中效空氣過(guò)濾器設(shè)置在風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)回風(fēng)口(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%，對(duì)于≥1μm顆粒)，同一屋頂空調(diào)需要兩級(jí)過(guò)濾器。

原理圖見(jiàn)圖：




2 爐室、BSD室內(nèi)只有溫度控制要求，有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)(PAL)為了保證房間的溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車(chē)間內(nèi)，連接風(fēng)管，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋頂上。新鮮空氣由相鄰的潔凈室正壓。車(chē)間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)出風(fēng)口設(shè)置中效過(guò)濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對(duì)于≥1μm粒子)。

3 磨片檢查室對(duì)溫濕度控制有要求，配有風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)(PAL)為保證室內(nèi)溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車(chē)間內(nèi)，連接風(fēng)管，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋頂上。新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(MAU-1、2）處理后，將送風(fēng)管送至室內(nèi)，相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組保證。新風(fēng)機(jī)組與凈化系統(tǒng)共用。車(chē)間有防塵要求。風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)回風(fēng)口設(shè)有中效過(guò)濾器（大氣粉塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對(duì)于≥1μm顆粒)，新風(fēng)機(jī)組內(nèi)設(shè)置粗、中效過(guò)濾器。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461592.2 凈化系統(tǒng)

新風(fēng)空調(diào)機(jī)組用于光伏新能源凈化工程系統(tǒng)(MAU)循環(huán)空調(diào)機(jī)組(AHU)的冷媒采用6-11℃冷凍水用0加熱.2MPa蒸汽，加濕0.1MPa清潔蒸汽加濕，清潔蒸汽由純水通過(guò)清潔蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1 CP室內(nèi)凈化等級(jí)為7級(jí)，通風(fēng)次數(shù)為30次/小時(shí)，CP室內(nèi)工藝設(shè)備酸量大，采用全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組(MAU-3) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調(diào)方式。氣流流程為：新風(fēng)入口-粗過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)-清潔區(qū)。

2 ML室內(nèi)凈化水平為7級(jí)，通風(fēng)次數(shù)為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組(MAU) 循環(huán)機(jī)組(AHU) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEPABOX)空調(diào)方式。新風(fēng)與其他系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3 CP/CVD室、LP/CVD潔凈包裝室凈化水平為6 級(jí)，換氣次數(shù)取為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組(MAU) 循環(huán)機(jī)組(AHU) 高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)空調(diào)方式。新風(fēng)與其他系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

4 7級(jí)、6 一級(jí)無(wú)塵室采用的氣流形式是頂部高效過(guò)濾器出風(fēng)口，房間側(cè)下百葉窗出風(fēng)口回風(fēng)。氣流過(guò)程為：新回風(fēng)混合！中效空氣過(guò)濾器-表面冷卻器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效空氣過(guò)濾器出風(fēng)口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉窗出風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。

5 質(zhì)量檢驗(yàn)室的凈化水平為7 采用新風(fēng)機(jī)組(MAU) 循環(huán)機(jī)組(AHU) 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU))空調(diào)方式。頂部采用氣流形式FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、質(zhì)量檢驗(yàn)室對(duì)NH4 、SQx循環(huán)機(jī)組需要濃度(AHU)增加化學(xué)過(guò)濾器。5級(jí)凈化室的氣流過(guò)程為：新回風(fēng)混合化學(xué)過(guò)濾器(NH4 )-化學(xué)過(guò)濾器(SQx)-中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉窗回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)與其他系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

6 除CP室外潔凈室所需新風(fēng)采用2臺(tái)新風(fēng)機(jī)組(MAU-1.2)集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機(jī)組(AHU)。氣流流程為：新風(fēng)入口-粗過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-循環(huán)空調(diào)機(jī)組(AHU)。

7 CP室、ML房間和洗凈室的酸度相對(duì)較高，CP室、ML室內(nèi)高效過(guò)濾器出風(fēng)口的擴(kuò)散板采用不銹鋼板制成，室內(nèi)清洗FFU網(wǎng)板由不銹鋼板制成。

8 需要注意的是，質(zhì)量檢驗(yàn)室根據(jù)工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板，相應(yīng)采用黑色回風(fēng)口，F(xiàn)FU網(wǎng)板需要黑色網(wǎng)板。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461593、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動(dòng)控制

新風(fēng)機(jī)組(MAU-1.2)變頻器由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器控制。接入每個(gè)風(fēng)量和正壓控制循環(huán)機(jī)組(AHU)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥設(shè)置在新風(fēng)管上，電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度由每個(gè)潔凈室的正壓值調(diào)節(jié)，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排氣量而變化。電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度變化導(dǎo)致總送風(fēng)管上的靜壓變化，并根據(jù)其設(shè)定值進(jìn)行調(diào)節(jié)AHU-1、2風(fēng)扇頻率，以達(dá)到控制的目的。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461593.1 凈化車(chē)間/無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制

無(wú)塵車(chē)間的濕度由新風(fēng)機(jī)組凈化生產(chǎn)MAU-1.2確?？刂菩嘛L(fēng)機(jī)組的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值調(diào)整干蒸汽加濕器電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表面冷卻器和加熱器回水管上電動(dòng)二通閥的開(kāi)度。露點(diǎn)溫度DPT檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)固定。無(wú)塵車(chē)間的凈化生產(chǎn)溫度由循環(huán)機(jī)組決定AHU表冷器回水管上的電動(dòng)二通閥開(kāi)度應(yīng)根據(jù)室內(nèi)溫度進(jìn)行調(diào)整。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：133053461593.2 冷卻系統(tǒng)控制

冷凍水系統(tǒng)采用一級(jí)泵，通過(guò)負(fù)載控制確定冷卻機(jī)組及相應(yīng)水泵和冷卻塔的開(kāi)啟臺(tái)數(shù)。供水和回水壓差根據(jù)設(shè)定供水和回水壓差自動(dòng)控制，回水主管之間的壓差流量旁路閥。


新能源清潔車(chē)間

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：13305346159二、過(guò)濾效率：

大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對(duì)于≥1μm粒子)

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：13305346159三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)已進(jìn)入0.18微米以下的時(shí)代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對(duì)光伏新能源硅晶片性能參數(shù)的要求。


新能源清潔車(chē)間

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車(chē)間無(wú)塵無(wú)菌凈化工程，電話：13305346159四、應(yīng)用場(chǎng)所：

食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、物理化學(xué)實(shí)驗(yàn)室、血站、細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、清潔實(shí)驗(yàn)室、物理工程（基因重組、疫苗制備）等行業(yè)。

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